스맥, 특허에 관한 보도자료 (반도체 웨이퍼 폴리싱 및 클리닝장치)
https://www.edaily.co.kr/News/Read?newsId=03237366638891544&mediaCodeNo=257&OutLnkChk=Y
■ 출처: 이데일리 (2024년 5월 22일자 기사) ■ 문의: 경영기획팀(055-340-4821)